扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息，可对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察和成分分析。
扫描电镜测试项目：
SEM：形貌观察，利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像。
EDS：成分分析（半定量），通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。
微观尺寸量测
金属镀层/涂层厚度检测
样品要求：
1.试样为不同大小的固体（块状、薄膜、颗粒），并可在真空中直接进行观察。
2.试样应具有良好的导电性能，不导电的试样，其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜
扫描电镜的运用：
IMC观察
锡须观察
表面成分分析
异物分析
